半導体用のシリコン・インゴットや、LEDから宝石まで幅広い用途に使用されているサファイア等の結晶育成工程では、レアメタルが多く使用されています。
大型坩堝や、シードチャック、ロープ、台座などにMo・Wを始めとした高融点金属消耗品が多く使用されています。
エピタキシャル成長で使用される「MOCVD(有機金属気相成長)装置」には、ヒーター、リフレクター等多くのレアメタル部品が使用されています。