抵抗加熱蒸着用消耗品

アローズでは、様々なタイプの抵抗加熱蒸着用の消耗品を取り扱っております。

一般的な蒸着用ボートや蒸着用フィラメントを始め、コーティング処理や複雑形状に設計した特殊な製品も多くラインナップしております。

多くの製品にて材質やサイズのオーダーメイドも可能ですのでお気軽にご相談ください。

 ※全ての製品は『インチサイズ表記」になっておりますのでご注意ください。

アルミナ(AI2O3)コート付 蒸着用ボートは、アルミナ坩堝を使用した蒸着方法から置き換えるために開発されました。アルミナコーティングの利点は、ほとんどの金属に対しアルミナが不活性なことと、優れた熱伝達性です。また、アルミナは多くの蒸発剤を濡らさないため、このアルミナの非湿潤特性により、蒸発剤は溶融時に球を形成し点源になることも大きな特徴になります。
この
アルミナコート付 蒸着用ボートは、コーティングされていないボートと比較しると長寿命を期待出来ますが、熱伝導の違いにより30〜50%多くの電力を必要とします。1800℃以上でのご使用は避けて頂く必要があります。

アローズ図面にて製作させて頂きます。
部品をお借り出来ればアローズにて採寸し確認いたします。
変更・改造等も対応いたします。お気軽にお問い合わせください。

蒸着用ボートは、さまざまな材料の成膜に使用されています。

ご希望の蒸着/成膜結果を実現するために、タングステン(W)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)から材質をお選び頂け、ボート形状もご希望に適した幅広いラインナップからお選び頂けます。

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部品をお借り出来ればアローズにて採寸し確認いたします。
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様々なタイプの抵抗加熱用タングステン(W)フィラメントを取り扱っております。一般的な螺旋タイプやロッドフィラメント、ループフィラメント、バスケットフィラメント等の幅広い形状をラインナップし、高品質な材料と最適な加工にて製造しております。

クロム(Cr)をコーティングした特別なフィラメントも取り扱っており、電子部品や光学部品向けのクロム成膜改善に期待が出来ます。

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バスケットフィラメントは、高品質の単線/複線の撚線タングステン(W)ワイヤーで製造しております。バスケットフィラメントは、少量のコーティングを低コストで行うのに理想的で、必要電力は最小限に抑えることが可能です。

 蒸着材料はバスケットフィラメントに直接入れることも出来ますが、 バスケットフィラメントに坩堝を搭載することも可能であり、坩堝を使用することで材料と接地部分の相性を改善することが可能です。

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様々なサイズと材料の坩堝をラインナップしております。

各種坩堝はバスケットフィラメントや坩堝ヒーターに合わせて設計されておりますので、サイズの合った組み合わせにてご使用ください。

電子銃蒸着(EB)用のハースライナーも各種ご用意しております。

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特殊タンタル(Ta)ボート、バッフル付ボックスソース、シールドバッフルボックスソースのご紹介です。

特殊タンタルボートは長寿命かつ、角部を溶接し蒸発部を覆うことにより、揮発性物質とスプラッシュ対策に役立ちます。
バッフル付ボックスボートは、
モリブデン(Mo)とタンタル(Ta)で製造可能です。遮熱なしで優れたバッフル(隔壁)をご提供いたします。

シールドバッフルボックスボートは、SiO、ZnS、およびその他の昇華材料に最適化されています。

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マイクロエレクトロニクス向けの蒸着源として、ほぼ全ての標準品を小型化しラインナップしております。

マイクロエレクトロニクス向けの蒸着源の全長は、ほとんどの場合2インチ未満です。小型蒸着源は、少量の蒸着を必要とする装置やプロセスの低電力化に最適です。

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アローズでは、レアメタル製のボルトナットを常時販売しております。
大学などの研究機関向けが多いです。
もちろん一般の企業様にも販売しております。
超極細M1のナットも対応可能ですし、六角穴付きボルトも問題ありません。
頭の形状、首下の長さをご教示頂ければすぐお見積り致します。
例)すり割り M5x6L 10本