成膜装置用消耗品

成膜装置用消耗品
 アローズでは、創業以来成膜装置にかかわる消耗品を幅広く販売しております。化粧品の瓶や車載ヘッドライトなどの製造で使用する抵抗加熱蒸着用タングステンフィラメント、カメラのレンズやメガネのレンズの製造で使用する電子銃用EBフィラメントやハースライナー、また抵抗加熱蒸着用タングステンボートなど。それからIAD部品ニュートラライザで使用する部品まで。非常に多くの実績がございます。圧倒的な価格でご提案させて頂きますので是非一度ご相談ください。

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こんな製品が得意です!!

抵抗加熱用蒸着フィラメント

 蒸着で使用するフィラメントには、蒸発材よりも高い融点低い蒸気圧と言った特性が必要になります。それらの特性を兼ね揃えているのがタングステン、モリブデン、タンタルと言った高融点金属です。アローズではこれら金属を使った抵抗加熱蒸着用フィラメントの販売を創業以来続けています。蒸着材の材質と形状をご教示頂くだけで、最適な形状のフィラメントを圧倒的な価格でご提案します。まずはご相談ください。
抵抗加熱用蒸着フィラメント 製品例

山タイプ



代表的なフィラメント。コスト重視。
「線径 x 撚数 x 山数 x 全長」
例)Φ0.8 x 3C x 3山 x 110

山タイプ



蒸着材がリング形状。作業性重視。
「線径 x 撚数 x 山数 x 全長」
例)Φ0.8 x 3C x 3山 x 110

コイルタイプ



厚膜向けで蒸着材の量を増やせます。
「線径 x 撚数 x コイル数 x 全長」
例)Φ0.8 x 3C x 8T x 110

バスケットタイプ



Inの蒸着にはMo製バスケットが一般的です。
「線径 x 撚数 x B径 x Bコイル数 x B高さ x 全長」
例)Φ0.8 x 3C x φ6 x 4T x 5H x 110

抵抗加熱用蒸着ボート

 蒸着で使用するボートには、蒸発材よりも高い融点低い蒸気圧と言った特性が必要になります。それらの特性を兼ね揃えているのがタングステン、モリブデン、タンタルと言った高融点金属です。アローズではこれら金属を使った抵抗加熱蒸着用ボートの販売を創業以来続けています。蒸着材の材質と形状をご教示頂くだけで、最適な形状のボートをご提案します。しかも型からの製作でも、圧倒的な価格でご提案させて頂きます。まずはご相談ください。
抵抗加熱用蒸着ボート 製品例

フラットタイプ



代表的なボートです。V溝タイプも対応します。
「板厚 x 幅 x 全長 (₋キャビティ長さ₋)」
例)0.3 x 10 x 100 (-40-)

段付きタイプ



段付きボートです。蒸着材の這い上がりに最適です。
「板厚 x 幅 x 全長 (₋キャビティ長さ₋)段高さ」
例)0.3 x 10 x 100 (-40-) 下段5

大容量タイプ



大容量タイプです。型から対応致します。
「板厚 x 幅 x 全長 」
例)0.3 x 25 x 102

ボックスタイプ



※写真にオンマウスでフタタイプに切り替わります
MoまたはTaで対応致します。
ボックスのサイズやフタの有無
ご教示ください。

BNタイプ



アルミ蒸着用のBNボートです。
包装市場やフィルムコンデンサー市場向けが多い製品です。

電子銃用ハースライナー

 EB蒸着で使用するハースライナーは、水冷ハースと蒸着材料の間を断熱し、温度上昇の管理を容易にする、ハースに蒸着材が残存することを防ぎクリーンな状態を保つといった役割を持ちます。アローズでは、これらの目的や蒸着材料の種類などに合わせて、タングステン、モリブデン、無酸素銅、導電性ボロンナイトライド、カーボン、アルミナといった材質を使ったハースライナーの販売を創業以来続けています。お客様の用途や目的をご教示頂くだけで、最適な形状のハースライナーをご提案します。まずはご相談ください

防着板

 蒸着装置内の防着板についても多数実績がございます。アローズでは、お客様の部品をお預りしアローズ社内で製図し、お見積りをさせて頂きます。もちろんお持ちの図面や部品情報からもお見積り可能です。 その他にもお客様のご希望に合わせた形状変更や使用環境による材質変更のご提案、またお客様のご希望に沿ったブラスト、溶射といった表面処理にも対応可能です。長年の経験とノウハウを3D-CADに活かし確実な製図を行います。オーダーメイド品でも圧倒的な価格を目指しております。
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電子銃によるアルミ蒸着の問題は、
アルミの這い上がりとハースライナーが割れることです。
アローズでは、
この問題に対して、
材料と形状の両面から解決策をご提案します。
「無酸素銅」「SUS」「チタン」「モリブデン」など、
あらゆる材質に対応。
そして加工方法についても
「絞り」「プレス」「切削」「溶接」など
アローズでは、すべてにおいてノウハウを持っています。
お気軽にご相談下さい。
防着板には被膜が堆積していきます。
このデポ物をブラストで剥離していきます。
剥離を繰り返せば防着板は変形します。
変形した防着板に対してアローズでは、
3Dスキャナーという最新のテクノロジーと豊富な経験を融合させ、
確実なトレースを行う事が出来ます。
ブラストも新品製作もアローズにお任せください。
セラミックスをメタライズし、金属にロウ付けします。
高圧導入端子は、
大気側から、真空装置などの内部に電流を供給する端子です。
リークがなく、耐熱性や化学的安定性が求められます。
アローズでは、このようなメタライズ部品を展開しております。
まずはご相談下さい。
アローズでは、レアメタル製のボルトナットを常時販売しております。
大学などの研究機関向けが多いです。
もちろん一般の企業様にも販売しております。
超極細M1のナットも対応可能ですし、六角穴付きボルトも問題ありません。
頭の形状、首下の長さをご教示頂ければすぐお見積り致します。
例)すり割り M5x6L 10本