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イオン注入
アローズでは、イオン注入装置用で使用するタングステン、モリブデン、タンタルやそれら合金を原材料とする超高精度な部品を展開しています。レアメタル以外にもセラミックスやカーボンなどの部品まで、幅広く対応しています。3次元測定器や画像測定器を保有していますので、お客様の部品をお預りし、アローズ社内で製図することが可能です。もちろんお持ちの図面や部品情報をご教示頂ければ、それだけでお見積りすることも可能です。その他にもお客様のご要望に合わせた改造や材質の変更も長年の経験とノウハウを3D-CADに活かして、確実な製図を行います。圧倒的な価格で対応しておりますのでまずはご相談下さい。
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こんな製品が得意です!!
ソースヘッド周辺部品
イオン注入に不可欠なプラズマは、アローズが最も得意とするタングステン、モリブデン、タンタルと言った高融点金属の部品から発生致します。最大のホットゾーンの一つでもある箇所なので、耐熱性が高く信頼のおける部品が不可欠です。多数の加工実績を重ねたことで得た様々なノウハウより各部品の形状変更を行い、組み立て部品の脱着簡易化を行ったメンテナンス効率向上のご提案や、材質変更による使用ライフの延長化、ランニングコストの削減等、お客様のご使用環境に沿った最適な設計と提案を行うことが出来ます。
ビームライン周辺部品
イオン源で発生したイオンには必要でないイオンが存在しています。ウェハに注入しなくてはならない必要なイオンだけを取り出すために、アナライザーと言われる地場の中に通します。このアナライザーの中で、必要な質量のイオンだけを取り出すことができます。アローズでは、ここで使用するアルミ製ビームラインチャンバーやカーボンのパーツを数多く販売しています。
セラミックス、カーボン部品
アルミナ(Al2O3)、ボロン・ナイトライド(BN)等のセラミックスや各種グレードのカーボン等の金属以外の部品でも様々な材質を取り扱っております。お客様の部品をお預かりして、アローズ社内で製図します。材質と型番・お客様がお持ちの図面でのお見積りも可能です。取り扱いが少ない特殊な部品でも、アローズの幅広いネットワークで捜索致しますので、是非一度ご相談ください。
中古、新古品 電装部品などの捜索、修理
なかなか手に入らない希少部品や、装置メーカーにて生産中止・ラストバイしてしまい入手困難な電源や電装系・ポンプ等の中古（新古品）をアローズの独自ネットワークを駆使した国内外の捜索が可能です。製品によっては、修理もしくは修理済品との交換（Exchange）をご選択頂ける場合もございます。どの場合のお取引でも、アローズ特別価格にてご提案致します。お客様の倉庫で眠っている装置や故障部品を復活しご活用頂くお手伝いでも、何でもアローズにお任せください。