各種セラミック基板を取り扱い

レアメタルのすべてをサポートする会社

PRODUCT

製品

ホーム > セラミック基板

セラミック基板

セラミック基板は、高い絶縁性と優れた放熱性を兼ね備えた回路基材です。パワーエレクトロニクス、半導体パッケージング、光通信、5G通信、高出力LED、半導体製造装置など、幅広い先端分野で採用されています。特に窒化アルミ（AlN）基板は優れた熱伝導性を有し、EV向けパワー半導体や光通信モジュールなど、高い放熱性能が求められる用途で広く使用されています。

セラミック基盤グレード表

項目		テストアイテム	単位	Al₂O₃				AlN			Al₂O₃/ZrO₂	Si₃N₄
項目		テストアイテム	単位	A1296	A1296A	A2296	A996	AN-170	AN-200	AN-230	ZTA	SN-90
材質		-	-	96%	96%	96%	99.6%	AlN	AlN	AlN	Al₂O₃/ZrO₂	Si₃N₄
外観		-	-	White Dense				Light Blue	Beige	Beige	White Dense	Grey
表面粗度		Ra	μm	0.2～0.6				0.2～0.75			0.2～0.5	0.2～0.75
密度		-	g/cm³	≥3.70	≥3.60	≥3.75	≥3.8	≥3.3			≥3.85	≥3.2
物理的特性	曲げ強度	3点曲げ抵抗	MPa	≥380	≥350	≥400	≥450	≥400	≥350	≥300	≥550	≥750
	ビッカース硬度	Load 4.9	GPa	≥14	≥13	≥14	≥14	≥10			≥14	≥14
	吸水率	-	%	0				0			0	0
熱性能	熱伝導率	25℃	W/(m·K)	≥22	≥19	≥24	≥27	≥170	≥200	≥230	≥23	≥85
	熱膨張係数	25℃～500℃	x10^-6/℃	6.6～7.5				4～6			6.6～7.5	2～4
	耐熱衝撃性	800℃	Time	≥10				≥10			≥10	≥10
	比熱	-	J/(kg·K)	880			780	720			720	680
電気特性	誘電率	1MHz/25℃	-	9～10				8～9			10～11	7～8
	誘電損失	1MHz/25℃	x10^-4	≤3			≤0.5	≤3			≤3	≤4
	体積抵抗率	25℃	Ω·cm	>10¹⁴				>10¹⁴			>10¹⁴	>10¹⁴
	破壊電圧	-	kV/mm	>12			>15	>17			>15	>15
通光性	反射率	反射率計	-	>92%	>95%	>88%	>90%	-			≥95%	-
通光性	白さ	白さ計	-	>88	>86	>88	-	-			-	-

仕様・寸法
仕様・寸法

レーザー加工能力

材料	単位	Al₂O₃	ZTA	AlN	Si₃N₄
有効寸法 (A, B)	mm	50.8～190	50.8～190	50.8～190	138x190
厚み (T)	mm	0.25～1.5	0.25～1.5	0.25～1.0	0.25, 0.32
厚み公差	mm	±5% ( Min±0.03mm )
反り (C)	mm	≤0.3%
反り公差	μm	0.2～0.6	0.2～0.5	0.2～0.75	0.2～0.75
サイズ、厚さ、表面粗さはカスタマイズ可能です

レーザー加工

項目	標準	特級
内部寸法公差	±0.05mm	±0.03mm
外部寸法公差	±0.15mm	±0.1mm
穴公差 (ϕ0.07-0.15mm)	±0.05mm	±0.02mm
穴公差 (ϕ > 0.15mm)	±0.1mm	±0.02mm

項目	標準許容差 (mm)	特別許容範囲 (mm)	参考図
長さ/幅	±0.15	±0.05
穴加工	±0.05	±0.03	&
穴直径 (ϕ < 0.8mm)	±0.1	±0.05	;
穴直径 (ϕ < 0.8～2.5mm)	±0.1	±0.08
穴直径 (ϕ > 2.5mm)	±0.15	±0.13
最小穴直径	-	0.08
穴の端から基板の端までの距離または穴間の距離	>厚さ	>0.5
最小スロット幅	-	0.08
最小半径	-	0.5

研削・研磨シート表面粗さ表

レーザー加工

項目	表面粗度 (μm )
項目	標準	特級
研削	0.3～0.6	0.3～0.5
微研磨	0.1～0.4	0.1～0.3
研磨	≤0.1	≤0.05

Al2O3（アルミナ）

特徴：

高い耐熱衝撃性
低反り性
耐高温性、優れた耐酸性・耐アルカリ性

応用領域：

厚膜・薄膜チップ抵抗器
LED放熱基板
エネルギー貯蔵、充電スタンドのスペーサー

小型セラミック外形実装パッケージ (CSOP)

特徴：

コンパクトサイズ、翼型リード線により低応力
優れた耐機械衝動性
複数リードピッチ：1.27mm、1.00mm、0.8mmなど

応用領域：

携帯用模索救助証明
自動車・建築用照明
屋外・エンターテインメント用照明

項目		テストアイテム	単位	Al₂O₃
項目		テストアイテム	単位	A1296	A1296A	A2296	A996
材質		-	-	96%	96%	96%	99.6%
外観		-	-	White Dense
表面粗度		Ra	μm	0.2～0.6
密度		-	g/cm³	≥3.70	≥3.60	≥3.75	≥3.8
物理的特性	曲げ強度	3点曲げ抵抗	MPa	≥380	≥350	≥400	≥450
	ビッカース硬度	Load 4.9	GPa	≥14	≥13	≥14	≥14
	吸水率	-	%	0
熱性能	熱伝導率	25℃	W/(m·K)	≥22	≥19	≥24	≥27
	熱膨張係数	25℃～500℃	1x10^-6 mm/℃	6.6～7.5			6.6～7.5
	耐熱衝撃性	800℃	Time	≥10			≥10
	比熱	-	J/(kg·K)	880			780
電気特性	誘電率	1MHz/25℃	-	9～10			9～10
	誘電損失	1MHz/25℃	x10^-4	≤3			≤0.5
	体積抵抗率	25℃	Ω·cm	>10¹⁴			>10¹⁴
	破壊電圧	-	KV/mm	>12			>15
通光性	反射率	反射率計	-	>92%	>95%	>88%	>90%
通光性	白さ	白さ計	-	>88	>86	>88	-

AlN（窒化アルミ）

特徴：

高い熱伝導率
シリコンウエハーに近い熱膨張係数
高い破壊電圧

応用領域：

ハイパワーIGBTパワーモジュール
ハイパワーLED
高出力放熱スペーサー

項目		テストアイテム	単位	AlN
項目		テストアイテム	単位	AN-170	AN-200	AN-230
材質		-	-	AlN	AlN	AlN
外観		-	-	Light Blue	Beige	Beige
表面粗度		Ra	μm	0.2～0.75
密度		-	g/cm³	≥3.3
物理的特性	曲げ強度	3点曲げ抵抗	MPa	≥400	≥350	≥300
	ビッカース硬度	Load 4.9	GPa	≥10
	吸水率	-	%	-
熱性能	熱伝導率	25℃	W/(m·k)	≥170	≥200	≥230
	熱膨張係数	25℃～500℃	1x10^-6 mm/℃	4～6
	耐熱衝撃性	800℃	Time	≥10
	比熱	-	J/(kg·K)	720
電気特性	誘電率	1MHz/25℃	-	8～9
	誘電損失	1MHz/25℃	x10^-4	≤3
	体積抵抗率	25℃	Ω·cm	>10¹⁴
	破壊電圧	-	KV/mm	>17
通光性	反射率	反射率計	-	-
通光性	白さ	白さ計	-	-

ZTA（ジルコニア）

特徴：

高強度
高反射率
高い耐熱衝撃性

応用領域：

中出力電源モジュール
中出力LED
計器類

項目		テストアイテム	単位	Al₂O₃ /ZrO₂
項目		テストアイテム	単位	ZTA
材質		-	-	Al₂O₃/ZrO₂
外観		-	-	White Dense
表面粗度		Ra	μm	0.2～0.5
密度		-	g/cm³	≥3.85
物理的特性	曲げ強度	3点曲げ抵抗	MPa	≥550
	ビッカース硬度	Load 4.9	GPa	≥14
	吸水率	-	%	0
熱性能	熱伝導率	25℃	W/(m·k)	≥23
	熱膨張係数	25℃～500℃	1x10^-6 mm/℃	6.6～7.5
	耐熱衝撃性	800℃	Time	≥10
	比熱	-	J/(kg·K)	720
電気特性	誘電率	1MHz/25℃	-	10～11
	誘電損失	1MHz/25℃	x10^-4	≤3
	体積抵抗率	25℃	Ω·cm	>10¹⁴
	破壊電圧	-	KV/mm	>15
通光性	反射率	反射率計	-	≥95%
通光性	白さ	白さ計	-	-

Si3N4（窒化ケイ素）

特徴：

高い熱伝導率
シリコンウエハーに近い熱膨張係数
高強度・高靭性

応用領域：

ハイパワーIGBTパワーモジュール
高出力放熱スペーサー
無線モジュール

項目		テストアイテム	単位	Si₃N₄
項目		テストアイテム	単位	SN-90
材質		-	-	Si₃N₄
外観		-	-	Grey
表面粗度		Ra	μm	0.2～0.75
密度		-	g/cm³	≥3.2
物理的特性	曲げ強度	3点曲げ抵抗	MPa	≥750
	ビッカース硬度	Load 4.9	GPa	≥14
	吸水率	-	%	0
熱性能	熱伝導率	25℃	W/(m·k)	≥85
	熱膨張係数	25℃～500℃	1x10^-6 mm/℃	2～4
	耐熱衝撃性	800℃	Time	≥10
	比熱	-	J/(kg·K)	680
電気特性	誘電率	1MHz/25℃	-	7～8
	誘電損失	1MHz/25℃	x10^-4	≤4
	体積抵抗率	25℃	Ω·cm	>10¹⁴
	破壊電圧	-	KV/mm	>15
通光性	反射率	反射率計	-	-
通光性	白さ	白さ計	-	-

PRODUCT

セラミック基板

コンテンツ一覧

セラミック基盤グレード表

仕様・寸法 仕様・寸法

レーザー加工能力

研削・研磨シート表面粗さ表

Al2O3（アルミナ）

小型セラミック外形実装パッケージ (CSOP)

AlN（窒化アルミ）

ZTA（ジルコニア）

Si3N4（窒化ケイ素）

仕様・寸法
仕様・寸法