PROCESS MATERIAL

加工材質
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高機能先端材料 PBN・PG

PBN製品の使用例

PBNとPGの材料性能について

性能 単位 PBN PG 検査基準
製品純度 / 100.00% 100.00% GDMS
屈折強度 N/mm2 249 127 GB/T6569-2006
熱伝導率 (200℃) W/m·K 82 (a)
2.5 (c)
376 (a)
2.0 (c)
ASTM E1461
熱膨張率 (50-800℃) T.α/(1/K) 2.0×10-6 (a) 1.26×10-6 (a) GB5594.3-85
抵抗率 Ω·cm 1015 2×10-4 GB5594.5-85
ASTM B193-02
絶縁破壊強さ kV/mm 200 / GB/T1408.1-2006
最高使用温度 2400 3600 /

PBN 加工工程

CVD

マスフローメータ、温度コントローラ、圧力コントローラ、温度測定器、コントロールシステム等は国際有名メーカー製品を使用

PBN (Pyrolitic Boron Nitride) の特長

    • 人体に無害で、優れた加工性
    • 純度=99.999%
    • 表面が緻密で気密性が高い
    • 高い耐高温性。温度の上昇に連れて強度が高くなり、ピークは「2200℃
    • 耐熱振動性・熱伝導率・熱膨張率が低い
    • 高い電気抵抗率、絶縁強度・誘電率が低い、誘電損失が小さい
    • 優れた耐腐食性(酸、アルカリ、電解質、有機溶剤,溶融金属 等)
    • 半導体などの材料と反応し辛い、濡れにくい

GaAs、InP、GaP等Ⅲ-Ⅴ族の化合物の合成

  • 高い結晶成長速度
  • 化学的に安定しており半導体材料と反応しない
  • 安定した熱伝導率
  • 長寿命

VGF用 坩

MBE用 坩

LEC用 坩

PBNボート

OLED蒸着用 蒸着坩堝

  • 高密度(2.12g/cm3)
  • 高温でガスが放出されない
  • 均一な厚さで、安定した加熱
  • 層間強度が高い

OLED蒸着用 PBNノズル、ヒーター指示片、絶縁管

進行波管(TWT)用 円板とクランプ棒

  • 高密度で高い引張強度と屈折強度
  • 高温下で不純物を放出しない
  • 真空中でガスを発生しない
  • 高い熱伝導率、抵抗率、絶縁強度
  • 誘電率が低く、誘電損失が少ない

円板

クランプ棒

PBNコート類製品

  • カーボン部品をPBNコーディングすることで部品を保護し消耗を抑えることが出来ます。
  • またPBNコーティングされたカーボンを、ヒーターやホットゾーンに使用すると、高温下でのカーボンの揮発を抑えることが出来ます。

PG (Pyrolytic Graphite)の特長

  • CVD法で製造する高純度グラファイト
  • 表面が緻密で気孔がほぼなく気密性に優れる
  • 機械加工が容易
  • 高純度 >99.999% 不純物元素 ≤2ppm
  • 耐高温強度は温度の上昇につれて増加し2750℃でピークに達する。3600℃で昇華 
  • 低弾性力、高熱伝導率、低熱膨張係数、優れた耐衝撃性
  • 耐高温・酸・アルカリ・電解質・溶融金属・有機溶剤からの腐食に強い
  • 400℃以下では酸化しにくい
  • 高温でガスを放出せず、約1800℃10-7mmHgの真空維持

PG製品の使用例

PBN / PG ヒーター

  • 高純度 ≥99.999%
  • 昇温スピードの向上(最速4分で1000℃到達も可能)
  • 優れた耐腐食性
  • 高温下でも、破片や気体を放出しない
  • 温度区域の差が小さく、長寿命を期待できる
  • オーダーメイド生産も可能
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