PROCESS MATERIAL

加工材質

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高機能先端材料 PBN・PG

PBN製品の使用例

PBNとPGの材料性能について

性能		単位	PBN	PG	検査基準
製品純度		/	100.00%	100.00%	GDMS
屈折強度		N/mm2	249	127	GB/T6569-2006
熱伝導率	(200℃)	W/m·K	82 (a) 2.5 (c)	376 (a) 2.0 (c)	ASTM E1461
熱膨張率	(50-800℃)	T.α/（1/K）	2.0×10-6 (a)	1.26×10-6 (a)	GB5594.3-85
抵抗率		Ω·cm	1015	2×10-4	GB5594.5-85 ASTM B193-02
絶縁破壊強さ		kV/mm	200	/	GB/T1408.1-2006
最高使用温度		℃	2400	3600	/

PBN 加工工程

CVD

マスフローメータ、温度コントローラ、圧力コントローラ、温度測定器、コントロールシステム等は国際有名メーカー製品を使用

PBN (Pyrolitic Boron Nitride)　の特長

• • 人体に無害で、優れた加工性
  • 純度＝99.999%
  • 表面が緻密で気密性が高い
  • 高い耐高温性。温度の上昇に連れて強度が高くなり、ピークは「2200℃」
  • 耐熱振動性・熱伝導率・熱膨張率が低い
  • 高い電気抵抗率、絶縁強度・誘電率が低い、誘電損失が小さい
  • 優れた耐腐食性（酸、アルカリ、電解質、有機溶剤，溶融金属 等）
  • 半導体などの材料と反応し辛い、濡れにくい

GaAs、InP、GaP等Ⅲ-Ⅴ族の化合物の合成

• 高い結晶成長速度
• 化学的に安定しており半導体材料と反応しない
• 安定した熱伝導率
• 長寿命

VGF用　坩埚

MBE用　坩埚

LEC用　坩埚

PBNボート

OLED蒸着用　蒸着坩堝

• 高密度（2.12g/cm3)
• 高温でガスが放出されない
• 均一な厚さで、安定した加熱
• 層間強度が高い

OLED蒸着用　PBNノズル、ヒーター指示片、絶縁管

進行波管(TWT)用　円板とクランプ棒

• 高密度で高い引張強度と屈折強度
• 高温下で不純物を放出しない
• 真空中でガスを発生しない
• 高い熱伝導率、抵抗率、絶縁強度
• 誘電率が低く、誘電損失が少ない

円板

クランプ棒

PBNコート類製品

• カーボン部品をPBNコーディングすることで部品を保護し消耗を抑えることが出来ます。
• またPBNコーティングされたカーボンを、ヒーターやホットゾーンに使用すると、高温下でのカーボンの揮発を抑えることが出来ます。

PG (Pyrolytic Graphite)の特長

• CVD法で製造する高純度グラファイト
• 表面が緻密で気孔がほぼなく気密性に優れる
• 機械加工が容易
• 高純度　＞99.999%　不純物元素 ≤2ppm、
• 耐高温強度は温度の上昇につれて増加し2750℃でピークに達する。3600℃で昇華 
• 低弾性力、高熱伝導率、低熱膨張係数、優れた耐衝撃性
• 耐高温・酸・アルカリ・電解質・溶融金属・有機溶剤からの腐食に強い
• 400℃以下では酸化しにくい
• 高温でガスを放出せず、約1800℃で10^-7mmHgの真空維持

PG製品の使用例

PBN / PG ヒーター

• 高純度　≥99.999%
• 昇温スピードの向上（最速4分で1000℃到達も可能）
• 優れた耐腐食性
• 高温下でも、破片や気体を放出しない
• 温度区域の差が小さく、長寿命を期待できる
• オーダーメイド生産も可能

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