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蒸着用ドーム・治具:精密な光学製造を支える、一体成形技術

精密光学 / 半導体 / 眼鏡レンズ / 光ファイバー

アローズでは、蒸着用ドーム(基板ホルダー)および周辺治具の設計・製作に対応しています。独自の縁曲げ技術によりドームの縁を一体成形することで、溶接不要・高い剛性・長寿命を実現し、蒸着品質を高めます。対応直径はφ0.3〜3 m。精密光学、半導体、眼鏡レンズ、光ファイバーなどの分野でご利用いただけます。

一体成形の蒸着ドーム
対応直径 φ0.3〜3 m溶接不要高い剛性長寿命

一体成形と分割式ドーム

蒸着ドーム、回転支持架台、フランジ

一体成形・分割式ドームから回転支持架台、フランジまで、ワークの形状や用途に応じた蒸着治具を製作しています。

一体成形 蒸着ドーム(基板ホルダー)
一体成形 蒸着ドーム 部品

一体成形 蒸着ドーム(基板ホルダー)

材質:アルミ合金・ステンレス | 曲率公差:±1 mm | 回転振れ公差:±0.5 mm

回転支持架台・フランジ

回転支持架台・フランジ

材質:ステンレス
曲率公差:±1 mm / 回転振れ公差:±0.5 mm

3・4・5・6・8・9分割 蒸着ドーム

3・4・5・6・8・9分割 蒸着ドーム

材質:アルミ合金・ステンレス
曲率公差:±1 mm / 回転振れ公差:±0.5 mm

光学用途に応える製造品質
回転振れ測定の様子
回転振れ ±0.5 mm
ドームの縁の一体成形部
ドームの縁を一体成形

大型・高精度 蒸着ドーム

多様な径・開口形状・支持構造に対応

φ1,700 mm 蒸着ドーム

φ1,700 mm 蒸着ドーム

材質:アルミ合金・ステンレス

φ2,640 mm 多用途分割ドーム

φ2,640 mm 多用途分割ドーム

支持架台付き

φ2,200 mm 蒸着ドーム・架台

φ2,200 mm 蒸着ドーム・架台

材質:ステンレス・アルミ合金

円錐形 蒸着ドーム

円錐形 蒸着ドーム

基板ホルダー

超高精度 蒸着ドーム

超高精度 蒸着ドーム

材質:ステンレス
曲率公差:±1 mm / 回転振れ公差:±0.5 mm

蒸着ドーム

蒸着ドーム

基板ホルダー

フランジ付き一体成形ドーム

フランジ付き一体成形ドーム

材質:ステンレス・アルミ合金

高精度 蒸着ドーム

高精度 蒸着ドーム

材質:ステンレス
曲率公差:±1 mm / 回転振れ公差:±0.5 mm

用途別 蒸着治具

眼鏡レンズ用・調整式・分割式ドーム

眼鏡レンズ用 蒸着治具

眼鏡レンズ用 蒸着治具

材質:ステンレス

調整式 蒸着治具

調整式 蒸着治具

材質:ステンレス・アルミ合金

薄膜蒸着ドーム・ワークホルダー

薄膜蒸着ドーム・ワークホルダー

材質:ステンレス・アルミ合金

蒸着ドーム

蒸着ドーム

基板ホルダー

高精度 蒸着ドーム

高精度 蒸着ドーム

材質:ステンレス
曲率公差:±1 mm / 回転振れ公差:±0.5 mm

分割ドーム+支持架台

分割ドーム+支持架台

材質:ステンレス

薄膜蒸着ドーム・ワークホルダー

薄膜蒸着ドーム・ワークホルダー

材質:ステンレス・アルミ合金

薄膜蒸着ドーム・ワークホルダー

薄膜蒸着ドーム・ワークホルダー

材質:ステンレス・アルミ合金

半導体用・特殊形状ドーム

開口パターン、ワーク保持、反転機構に対応

半導体用 蒸着治具・ドーム

半導体用 蒸着治具・ドーム

半導体用 蒸着治具・ドーム

半導体用 蒸着治具・ドーム

半導体用 蒸着治具・ドーム

半導体用 蒸着治具・ドーム

半導体用 蒸着治具・ドーム

半導体用 蒸着治具・ドーム

段付き開口 一体成形ドーム

段付き開口 一体成形ドーム

開口内側の段にワークを直接設置
材質:アルミ合金・ステンレス

自動反転式 分割蒸着治具

自動反転式 分割蒸着治具

材質:ステンレス・アルミ合金
公差:±0.01 mm

多径丸穴 蒸着ドーム

多径丸穴 蒸着ドーム

異形開口 蒸着ドーム

異形開口 蒸着ドーム

蒸着ドーム

蒸着ドーム

基板ホルダー

蒸着ドーム用 回転支持架台

蒸着ドーム用 回転支持架台

精密な光学製造は、精密な治具から

研磨・洗浄・蒸着・保持を支える周辺治具

プリズム研磨・面取り・切断治具

プリズム研磨・面取り・切断治具

材質:金型鋼・ステンレス鉄
任意角度、高精度 / 寸法公差:±0.001 mm / 角度公差:±5秒

ハース・ハースライナー

ハース・ハースライナー

材質:無酸素銅・モリブデン・黒鉛
精度:±0.01 mm

超音波洗浄トレー

超音波洗浄トレー

材質:ステンレス・PTFE(フッ素樹脂)

ハースカバー・蒸発源カバー

ハースカバー・蒸発源カバー

蒸着装置用 保護板

蒸着装置用 保護板

蒸着フレーム・保持リング

蒸着フレーム・保持リング

材質:ステンレス・黄銅・アルミ合金
精度:±0.01 mm

汎用蒸着用 保持リング

汎用蒸着用 保持リング

材質:ステンレス・黄銅
精度:±0.01 mm

光ファイバー用 蒸着・研磨・洗浄治具

光ファイバー用 蒸着・研磨・洗浄治具

材質:ステンレス・黄銅
公差:±0.01〜0.02 mm

眼鏡レンズ用クリップ

眼鏡レンズ用クリップ

掲載以外の形状・サイズもご相談いただけます。図面がない場合も、現物からの採寸・製作に対応します。

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アローズでは、レアメタル製のボルトナットを常時販売しております。
大学などの研究機関向けが多いです。
もちろん一般の企業様にも販売しております。
超極細M1のナットも対応可能ですし、六角穴付きボルトも問題ありません。
頭の形状、首下の長さをご教示頂ければすぐお見積り致します。
例)すり割り M5x6L 10本