真空蒸発源

FILAMENTS​

タングステンフィラメント、ロッドソース、ポイントソース、バスケット、ヒーターの幅広い選択肢を提供し、ほとんどのアプリケーションやカスタム製造に適合します。 弊社のフィラメントは、実績のある製造プロセスと材料を使用して社内で製造されており、業界で最高の品質、信頼性、一貫性を備えています。 弊社のタングステンメタライズフィラメントを使用する利点には、低コスト、低電力での高レート(容量制限)、再現性、使いやすさが含まれます。

CHROME PLATED TUNGSTEN RODS

電子および光学産業でクロムの薄膜に使用されています。 クロムチップに対する利点は次のとおりです。
「優れた熱効率」「膜厚の調整」「剥離の排除」

PART C&D L A B
CRW-1 0.5 2 0.050 0.070
CRW-2 0.5 4 0.050 0.070
CRW-3 0.5 6 0.050 0.070

TUNGSTEN FILAMENT​

TYPE WIRE SIZE
F1 3x.025W
F1 3x.030W
F1 .040W
TYPE WIRE SIZE
F2 3x.025W
F2 3x.030W
F2 4x.030W
TYPE WIRE SIZE
F3 3x.025W
F3 3x.030W
F3 2x.040W
F3 4x.030W
F3 .040W
TYPE WIRE SIZE
F4 3x.025W
F4 3x.030W
F4 4x.030W
F4 2x.040W
F4 .040W
TYPE WIRE SIZE
F5 3x.025W
F5 3x.030W
F5 4x.030W
F5 2x.040W
F5 .040W
TYPE WIRE SIZE
F6 3x.025W
F6 3x.030W
F6 4x.030W
F6 2x.040W
F6 3x.040W
TYPE WIRE SIZE
F7 3x.030W
F7 4x.030W
F7 2x.040W
F7 3x.040W
TYPE WIRE SIZE
F8 3x.030W
F8 4x.030W
F8 2x.040W
F8 3x.040W
TYPE WIRE SIZE
F9 3x.030W
F9 4x.030W
F9 2x.040W
F9 3x.040W
TYPE WIRE SIZE
F10 3x.030W
F10 4x.030W
F10 2x.040W
F10 3x.040W
TYPE WIRE SIZE
F11 3x.030W
F11 4x.030W
F11 2x.040W
F11 3x.040W
TYPE WIRE SIZE
F12 3x.025W
F12 3x.030W
TYPE WIRE SIZE
F13 3x.025W
F13 3x.030W
F13 4x.030W
TYPE WIRE SIZE
F14 3x.030W
F14 4x.030W
F14 3x.040W
TYPE WIRE SIZE
F15 3x.030W
F15 4x.030W
F15 3x.040W

TUNGSTEN ROD SOURCE​

PART OL WL WRAP
LAYERS
F16A 4 2 8
F16B 5 3 8
F16C 5 3 12
F16D 8 6 12

POINT SOURCE LOOP FILAMENT​

TYPE WIRE SIZE
P1 3x.025W
P1 3x.030W
P1 4x.030W
P1 .060W
TYPE WIRE SIZE
P2 3x.025W
P2 3x.030W
P2 4x.030W
P2 .060W
TYPE WIRE SIZE
P3 3x.025W
P3 3x.030W
P3 4x.030W
P3 .060W
TYPE WIRE SIZE
P4 3x.025W
P4 3x.030W
P4 4x.030W
P4 .060W
TYPE WIRE SIZE
P5 3x.025W
P5 3x.030W
P5 4x.030W
P5 .040W
P5 .060W
TYPE WIRE SIZE
P6 3x.025W
P6 .040W
P6 .060W
TYPE WIRE SIZE
P7 3x.030W
P7 4x.030W

LOOSE LAY WIRE​

TYPE WIRE SIZE
P8 3x.025W
P8 3x.030W

HEATER FILAMENT​

TYPE WIRE SIZE
H1 .040W
H1 .060W
TYPE WIRE SIZE
H2 .040W
H2 .060W
TYPE WIRE SIZE
H3 .040W
H3 .060W

BASKETS​​

バスケットとバスケットヒーターは、最高品質のマルチストランドまたはシングルストランドのタングステンワイヤーで作られています。 タングステンバスケットは、低コスト、少量のコーティングに理想的であり、必要な電力は最小限です。 材料は、蒸発のためにバスケットに直接入れることができます。 バスケットヒーターはるつぼを利用しており、少量および大量のコーティングに使用できます。 カスタムバスケットをご利用いただけます。

BASKETS & BASKET HEATERS​

TYPE WIRE SIZE
B1 3x.025W
B1 3x.030W
B1 .040W
TYPE WIRE SIZE
B2 3x.025W
B2 3x.030W
B2 .040W
TYPE WIRE SIZE
B3 3x.025W
B3 .040W
TYPE WIRE SIZE
B4 3x.030W
B4 .060W
TYPE WIRE SIZE
B5 3x.025W
B5 .040W
TYPE WIRE SIZE
B6 3x.025W
B6 .040W
TYPE WIRE SIZE
B7 3x.025W
B7 .040W
TYPE WIRE SIZE
B12A 3x.025W
B12A 3x.030W
B12A .040W
TYPE WIRE SIZE
B12B 3x.025W
B12B 3x.030W
B12B .040W
B12B .060W
TYPE WIRE SIZE
B13 3x.025W
B13 3x.030W
B13 .040W
TYPE WIRE SIZE
B14 3x.030W
B14 4x.030W
B14 .060W
TYPE WIRE SIZE
B8A 3x.025W
B8A 3x.030W
『C1るつぼ』と使用可
TYPE WIRE SIZE
B8B 3x.025W
B8B 3x.030W

『C9るつぼ』と使用可

TYPE WIRE SIZE
B9 3x.030W
B9 4x.030W
B9 3x.040W

『C2るつぼ』と使用可

TYPE WIRE SIZE
B10 4x.030W
B10 3x.040W

『C5るつぼ』と使用可

TYPE WIRE SIZE
B11 4x.030W

『C6るつぼ』と使用可

CRUCIBLES​​

蒸発のニーズに合わせてさまざまなサイズのるつぼと材料を提供しています。 紹介のるつぼは、 BASKET HEATERSとCRUCIBLE HEATERに適合するように設計されています。 カスタムサイズはご要望に応じてご利用いただけます。 電子ビームシステム用のライナーもご用意しています。

CRUCIBLES​

TYPE MATERIAL
C1 AO アルミナ
C1 Q クォーツ
C1 BN ボロン・ナイトライド
C1 BNC ボロン・ナイトライド・コンポジット
・『B-8A バスケット』『CH-1,CH-10.CH-11.ME-19 ヒーター』『 ME-18A バスケット』と使用可
・壁厚:.040
・テーパー加工
TYPE MATERIAL
C2 Q クォーツ
・『B-9 バスケット』と使用可
・壁厚:.050
・テーパー加工
TYPE MATERIAL
C3 Q クォーツ
・壁厚:.070
TYPE MATERIAL
C4 Ta タンタル
C4 Mo モリブデン
C4 C カーボン

・壁厚:.090

TYPE MATERIAL
C5 AO アルミナ
C5 Q クォーツ
C5 BN ボロン・ナイトライド
C5 BNC ボロン・ナイトライド・コンポジット
・『CH-5.CH-12,CH-13 ヒーター』『 B-10 バスケット』と使用可
・壁厚:.060
・テーパー加工
TYPE MATERIAL
C6 AO アルミナ
C6 Q クォーツ
・『CH-6,CH-14 ヒーター』『 B-11 バスケット』と使用可
・壁厚:.070
・テーパー加工
TYPE MATERIAL
C9 AO アルミナ
C9 Q クォーツ
C9 BN ボロン・ナイトライド
C9 BNC ボロン・ナイトライド・コンポジット
C9 Ta タンタル
C9 Mo モリブデン
C9 C カーボン
・『CH-1,CH-10,CH-11,ME-19 ヒーター』『 B8B,ME18B バスケット』と使用可
・壁厚:.040
・ストレート加工
TYPE MATERIAL
C7 BN ボロン・ナイトライド
C7 C カーボン
C7 Q クオーツ
C7 Ta タンタル
C7 Mo モリブデン
※『CH-7 ヒーター』と使用可
※サセプタータイプ
※I.D1/4インチ
TYPE MATERIAL
C10 BN ボロン・ナイトライド
C10 C カーボン
C10 Q クオーツ
C10 Ta タンタル
C10 Mo モリブデン
※『CH-9,ME-20 ヒーター』と使用可
※サセプタータイプ
※I.D5/32インチ
TYPE MATERIAL
C8 BN ボロン・ナイトライド
C8 C カーボン
C8 Q クオーツ
C8 Ta タンタル
C8 Mo モリブデン
※『CH-8 ヒーター』と使用可
※サセプタータイプ
※I.D3/8インチ
*BN(窒化ホウ素)
結晶構造がグラファイトに似ており、 広範囲の温度で優れた誘電体です。
薄膜製造に使用される多くの材料による攻撃を受けません。すべての窒化ホウ素るつぼは、使用前にゆっくりと加熱し、完全にガスを放出する必要があります。 リクエストに応じて、各材質へのカスタムが可能です。

HEAT SHIELDED CRUCIBLE HEATERS(TO 1800℃)​​

シールド付きるつぼヒーターは、取り付けられたるつぼに均一な加熱を提供し、1800°Cまでの非常に高い速度と高温を実現します。
剛性の高い構造により、ヒーターとるつぼの寿命が延びます。
サーマルシールドは、システムがさらされる輻射熱を減らすことにより、真空コンポーネントを保護します。
カスタムサイズはご要望に応じてご利用いただけます。

CRUCIBLE HEATER​

TYPE
CH-1

・『C1,C9 るつぼ』と使用可

・るつぼのサイズ1/2インチx1/2インチ

TYPE
CH-5

・『C5 るつぼ』と使用可

・るつぼのサイズ1インチx1インチ

TYPE
CH-6

・『C6 るつぼ』と使用可

・るつぼのサイズ1-1/2インチx1-1/2インチ

TYPE
CH-7

・『C7 るつぼ』と使用可

・サセプタータイプ

・るつぼのサイズ3/8インチx1インチ

TYPE
CH-8

・『C8 るつぼ』と使用可

・サセプタータイプ

・るつぼのサイズ1/2インチx1-1/2インチ

TYPE
CH-9

・『C10 るつぼ』と使用可

・サセプタータイプ

・水平リード

・るつぼのサイズ1/4インチx1/2インチ

TYPE
CH-10

・『C1,C9 るつぼ』と使用可

・水平リード

・るつぼのサイズ1/2インチx1/2インチ

TYPE
CH-11

・『C1,C9 るつぼ』と使用可

・垂直リード

・るつぼのサイズ1/2インチx1/2インチ

TYPE
CH-12

・『C5 るつぼ』と使用可

・水平リード

・るつぼのサイズ1インチx1インチ

TYPE
CH-13

・『C5 るつぼ』と使用可

・垂直リード

・るつぼのサイズ1インチx1-1インチ

TYPE
CH-14

・『C6 るつぼ』と使用可

・水平リード

・るつぼのサイズ1-1/2インチx1-1/2インチ

TYPE
ME-19

・『C1,C9 るつぼ』と使用可

・るつぼのサイズ1/2インチx1/2インチ

TYPE
ME-20

・『C10 るつぼ』と使用可

・サセプタータイプ

・るつぼのサイズ1/4インチx1/2インチ

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