真空高温炉には、タングステンやモリブデン部品が多く使用されています。高融点金属であるタングステンやモリブデンは、真空高温環境での使用に適しており、真空高温炉の内部では「ヒーター、リフレクター、支持部材、治具」等に広く使われております。
高温合金やチタン合金、磁性材料の製造では、真空高温炉内で「焼入れ、アニール、ろう付け、焼結」などの処理を行います。この処理には、モリブデンのリフレクターが多く使用されています。
高温炉の熱源部品であり、最重要部品のひとつです。金属性ヒーターの場合、多くの場合でタングステンやモリブデン使用されています。モリブデンヒーターの使用上限温度は1,400℃、タングステンヒーターの使用温度は2,000℃以上です。
高温炉内は非常に高温のため「炉内支持部材、処理物を入れるラックやトレー」は、タングステンやモリブデンなどの高融点金属が多く使用されています。