合金ターゲット材の多成分・高密度・カスタム対応 アローズでは、AlTi・AlCr・TiSi系ターゲットを柔軟に提供します。 成分比率はお客様の要望に応じてカスタム可能です。 AlTiベース ターゲット 高密度・均一な構成・優れた安定性 成分比率は顧客の要望に応じてカスタム可能 微量元素を添加し、三元・四元合金のAlTiターゲットを製造可能 ターゲットサイズ:直径63㎜~長さ1701㎜ 代表的な組成 粒径 密度 AlTi75/25at% <100um >99% AlTi67/33at% <100um >99% AlTi60/40at% <100um >99% TiAl50/50at% <100um >99% TiAl75/25at% <100um >98% TiAl90/10at% <100um >98% TiAl 50/50at%ターゲット 組成 : TiAl50/50 at% 処理 : 粉末冶金 純度 : 99.8% 密度 : ≥3.59 g/cm3 粉末冶金法TiAlの微細構造 組成 : TiAl50/50 at% 処理 : 溶解 純度 : 99.8% 密度 : ≥3.80g/cm3 溶解法TiAlの微細構造 TiSiベース ターゲット 粉末冶金法と溶解法の両方で製造可能 高密度・均一な構成・優れた安定性 一般的な組成 : 85/15 at%、80/20 at%、75/25 at% TiSiターゲットに他の元素を添加してカスタム可能 (例:TiSiB、TiSiMo、TiSiBVなど) Microstructure of PM TiSi Microstructure of VM TiSi 多成分合金ターゲット お客様のご要望に合わせて、Alベースターゲットに以下の他元素を添加可能 (例:AlTiSi、AlCrSi、AlCrB、AlCrSiWなど) ◆高硬度 ◆優れた耐酸化性 ◆高い耐摩耗性 ◆低摩擦特性 ◆微細結晶化 ◆ナノ複合材料対応